Fehlerklassifizierung mit Bildverarbeitung und Neuronalen Netzwerken (Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)
Der Geschäftsbereich Semiconductor Technology entwickelt und produziert branchenführende Lithographiesysteme für Waferschrittschalter sowie Inspektionsmikroskope zur Fehlerklassifizierung (bis zu 300mm Wafer) und Maskensimulationsinstrumente. (Quelle: OTS-Newsticker)